Гинзбург В.М. Голография Методы и аппаратура. Страница 267

Как уже отмечалось выше, голографическая интерферометрия в значительной степени лишена указанных недостатков. Особенно перспективным для изучения тонких пленок является описанный в § 8.2 метод голографической интерферометрии в реальном масштабе времени, позволяющий производить быструю проверку готовых пленок либо наблюдать кинетику их образования. Первые эксперименты по использованию голографической интерферометрии для контроля качества пленок описаны в работе [26], где получены интерферограммы тонкого ступенчатого клина из висмутовой пленки.

Количественный анализ интерференционной картины ступенчатого клина, приведенной на рис. 9.24, производился с учетом того, что оптическая разность хода лучей, вносимая клином, равна

где h — толщина клина в произвольной точке; п — показатель преломления материала пленки. По сдвигу интерференционных полос определялась величина 8 для каждой ступеньки клина. Участок клина с максимальной толщиной внес оптическую разность хода б =0,61 мкм, а каждая ступенька клина б = 0,16 мкм. Среднее значение толщины отдельной ступеньки оказалось равным h = (0,13 ± 0,01) мкм. Эта же величина, измеренная интерференционным микроскопом, равна h = = (0,12 ± 0,01). Полученное различие, по-видимому, объясняется тем, что измерения, сделанные интерференционным- микроскопом, относятся лишь к небольшой области пленки и носят локальный характер. Описанные выше эксперименты проводились на антивибрационной установке УИГ-2М с использованием устройства для проявления голограммы на месте экспонирования.

Аналогичные результаты для таких объектов, как тонкие пленки, представляющие собой практически двумерные объекты, можно получить при использовании голографического интерферометра с юстируемыми плечами [27], оптическая схема которого приведена на рис. 9.25. Излучение ОКГ 1 расширяется и коллимируется оптической системой 2 и делится светоделителем 3 на два потока с соотношением интенсивностей 1 : 2. Более яркий пучок света разделяется полупрозрачным зеркалом 5, а отражатели 6, 4, 8 направляют сформированные таким образом потоки когерентного излучения на фотоматериал 7; в экспериментах использовались фотопластинки Микрат BPJ1. Зарегистрированная по описанной схеме голограмма проявляется, а затем помещается приблизительно в то же место, где она экспонировалась. Один из трех световых потоков перекрывается, а два других восстанавливают волну, идущую в направлении закрытого пучка. Небольшим изменением углов падения восстанавливающих потоков а и P добиваются полного совмещения восстановленных световых волн, идущих вдоль соответствующих направлений. Контроль совмещения производится по увеличению периода и исчезновению интерференционных полос в восстановленном излучении и не представляет существенной трудности. После юстировки плеч интерферометра в один из восстанавливающих потоков вводится фазовый объект, а на экране регистрируется интерференционная картина.