В заключение отметим, что описанный метод исследования когерентности отличается простотой и универсальностью, позволяя при помощи одной голограммы-дифракционного интерферометра сдвига

исследовать когерентность различных источников. От классических интерферометров сдвига дифракционный выгодно отличается нечувствительностью к вибрациям и максимально возможной простотой устройства. При восстановлении вибрации не изменяют контраста интерференционных полос, а смещают их как одно целое, так как все элементы интерферометра «вписаны» в голограмму. Смещение полос не должно лишь быть сравнимо с размерами приемного участка при- ^ бора, регистрирующего их контраст. От простых классических устройств, например бипризмы Френеля, дифракционный интерферометр выгодно отличается тем, что последовательно сдвигает друг относительно друга все участки волнового фронта, в то время как бипризма производит наложение только частей волнового фронта, расположенных по разные стороны от ее вершины.

Предложенный метод может оказаться удобным и при исследовании других вопросов, связанных с когерентностью, например, для исследования изменения функции когерентности во времени. Действительно, интерференционная картина образуется во всей области перекрытия волновых полей со сдвигом, переменным по оси 2. Установив несколько детекторов на различных расстояниях от голограммы, в том числе и в точке первого минимума корреляционной функции, можно контролировать стабильность функции когерентности во времени. Предельные возможности дифракционного интерферометра сдвига, как и любого дифракционного прибора, определяются его размерами и числом штрихов.

9.6. Исследование тонких пленок

Изучение кинетики образования топких пленок является важной задачей в разработке различных технологических процессов в микроэлектронике, фотографии, вакуумной технике, гидротехнике и т. п. В связи с этим большое значение приобрели различные оптические методы неразрушающего контроля пленок, например интерферометрия и эллипсометрия [23—25] и т. д. Несмотря на то, что эти методы широко применяются в настоящее время, они не свободны от некоторых недостатков. Например, в случае эллипсометрии накладываются ограничения на размер исследуемой поверхности (измерения производятся практически в одной точке). Существенные ограничения на размеры имеются и в классической интерферометрии, так как в большинстве интерферометров оптические элементы имеют небольшие размеры.